– 与VMECA Cartridge真空发生管集成
– 实现快速和稳定的真空时，消耗的空气最少
– 处理太阳能电池时，PEEK材料消散静电
– 低真空有助于保护太阳能电池免受损坏
– 根据晶圆尺寸提供各种尺寸